Monitorování kvality ovzduší v čistých prostorách v oblasti nanočástic a identifikace zdrojů vzniku částic s testo DiSCmini.

Výzva.
Výzva. Výroba počítačových čipů je nyní na úrovni 14-nm výrobního procesu. Tím nedosáhla pouze dalšího mezníku v procesní technice, ale pohybuje se v mnohem menších oblastech než jsou normy stanovující hraniční hodnoty čistoty ovzduší v čistých prostorách výrobních závodů. V jejich nejvyšší třídě určuje aktuálně platná norma ISO 14644-1 méně než 10 částic na m3 s jejich průměrem více než 0,1 µm. Menší částice nejsou stanovovány platnými předpisy, ani detekovány s pomocí stacionárních monitorovacích zařízení. Pro účinnou kontrolu výskytu nanočástic ve výrobním procesu zde tedy chybí odpovídající přístrojové vybavení. Kromě toho se s běžnými přístroji pouze těžko mohou lokalizovat zdroje emisí v oblasti nanočástic.

Řešení.
S ručním měřicím přístrojem testo DiSCmini se snadno a bezproblémově mohou kontrolovat čisté prostory také v oblasti nanočástic. Přístroj testo DiSCmini zjistí s časovou odezvou 1 sekundy počet částic v rozsahu od 10 do 700 nm a průměrnou velikost částic v rozsahu od 10 do 300 nm. K dispozici je také hodnota koncentrace LDSA (celkový povrch částic usazených v plicních sklípcích), která má vliv na lidský organismus. Díky praktické velikosti přístroje, jeho nízké hmotnosti a patentované metodě měření, je přístroj vždy připraven k použití. S jedním nebo s více přístroji Příklad aplikace v polovodičovém průmyslu testo DiSCmini je možné efektivně a snadno kontrolovat a dokumentovat různé měřicí body uvnitř a mimo čistých prostor. Vysoké časové rozlišení rovněž umožňuje z naměřených dat přesně lokalizovat zdroje nanočástic – to vše na základě naměřených hodnot a při absenci viditelných příznaků emisí, jako jsou kouř nebo pára. Velkoryse dimenzovaná baterie je navržena až pro 8 hodin mobilního provozu přístroje. Naměřené hodnoty jsou ukládány ve formátu CSV na SD kartu a mohou být odtud snadno vyčteny a dále zpracovány.

Výhody na první pohled
Přenosný přístroj pro měření nanočástic testo DiSCmini podporuje výrobce polovodičů při řešení jejich podstatných otázek ohledně tématu nanočástic:

• Souběžné měření počtu částic, jejich průměrné velikosti a LDSA – to vše s časovým rozlišením 1 sekundy.
• Mobilní provoz bez nutnosti provozního zdroje, nezávislý na vibracích a umístění přístroje.
• Snadná identifikace zdrojů vzniku částic, jednoduché vytvoření měřicích sítí a dlouhodobých měření.

Více informací
Další informace k přístroji testo DiSCmini a odpovědi na Vaše dotazy k měření nanočástic při výrobě polovodičů, získáte u našich specialistů na tel. čísle 222 266 700, nebo na e-mailu:: info@testo.cz